簡要介紹無塵室黃光區施工
無塵室黃光區施工是針對半導體、面板顯示（如 LCD/OLED）等精密制造領域的特殊潔凈施工，核心是在高潔凈度環境中，通過 “黃光照明 + 防微粒 / 防交叉污染管控”，保障光刻等核心工藝相關設施（如設備基礎、管線、潔凈墻體）的安裝精度與環境穩定性，具體可簡要概括為以下 3 點：
1.核心環境要求：黃光照明 + 嚴苛潔凈度
因光刻膠對藍光、紫外光敏感，施工區域需全程采用波長 500-600nm 的黃光照明，避免光源影響后續工藝材料；同時需維持 Class 10-Class 1000（每立方米微粒數≤10-1000 個）的潔凈度，施工人員需穿防靜電無塵服、經風淋室除塵，所有施工工具、材料需提前在潔凈區 “清潔除微粒” 后入場。
2.關鍵施工管控：防污染 + 高精度
施工全程圍繞 “防微粒、防化學污染、保精度” 展開：比如管線焊接（如氣體管道）需用無塵焊接設備，避免焊渣殘留；墻體 / 地面安裝采用 “密封式拼接”，縫隙用專用無塵密封膠填充，防止微粒積聚；設備基礎澆筑需控制平整度誤差在 ±0.1mm 內，適配精密光刻設備的安裝需求，且所有施工廢料需實時密封清運，避免污染擴散。
3.適配工藝需求：與生產流程協同
黃光區多為生產核心區，施工需與車間整體潔凈系統（如 FFU 風機過濾單元、排風系統）同步調試，確保施工后區域的溫濕度（通常 23±2℃、濕度 45%-55%）、壓差（相對相鄰區域正壓 5-10Pa）符合工藝標準；部分施工需在 “設備搬入前預安裝”，避免后期設備進場時破壞潔凈環境，保障施工后可快速銜接生產。
微信號：13511634521
蘇公網安備32058302005316號
添加微信
聯系我們
電話咨詢